紫外光

[转帖]从光刻机的发展,看懂ASML为何是不可取替

坚强是说给别人听的谎言 提交于 2019-11-29 17:36:11
从光刻机的发展,看懂ASML为何是不可取替 http://mini.eastday.com/mobile/171230223351249.html# 2017-12-30 22:33 来源:半导体行业观察 阿斯麦(ASML.O)是全球最大的半导体光刻机设备及服务提供商,在细分领域具备垄断地位。总部位于荷兰费尔德霍芬(Veldhoven),是飞利浦与 ASMI于 1984年合资创立,原称 Advanced Semiconductor Material LithographyHolding N.V.。 1995年公司在 NASDAQ与阿姆斯特丹交易所上市, 2001年更名为 ASML。 公司技术实力在光刻设备领域领先, 45nm以下的高端光刻机的市场中,占据 80%以上的份额,尤其在极紫外光(EUV)领域,目前处于垄断地位。在 2017年,公司营收达 67亿欧元,净利润 15亿欧元,员工总数约有 16,500人,其中研发超过 6,000人。 光刻设备是半导体关键制程,公司推动了行业技术演进。光刻(lithography)设备是一种投影曝光系统,由紫外光源、光学镜片、对准系统等部件组装而成。在半导体制作过程中,光刻设备会投射光束,穿过印着图案的掩模及光学镜片,将线路图曝光在带有光感涂层的硅晶圆上;通过蚀刻曝光或未受曝光的部份来形成沟槽,然后再进行沉积、蚀刻、掺杂,架构出不同材质的线路