激光剥离
一、准分子激光概述 1.定义 准分子是一种在激发态复合成分子，而在基态离解为原子的不稳定缔合物， 激光跃迁发生在束缚的激光态到排斥的基态，属于束缚-自由跃迁。 准分子激光器源自 “excited dimer”一词，是高电压泵浦的气体激光，是一种波长在紫外波段的脉冲气体激光器。气体由惰性气体如氩氪等和活性气体如氯或氟。当电激发后，气体混合物在短时间聚成活跃态并发出紫外激光，有XeF、KeF、ArF、XeCl、KrCl、ArCl等。 具有脉冲能量大、峰值功率高、且波长在紫外区域的特点。 2.准分子激光器的典型参数 3.发展史 （1）发展史 1960年提出准分子束缚-自由电子产生增益思想； 1970年Bosov采用强流电子束激发液态氙得到准分子激光，输出波长为172nm； 1974年，美国Kansan州立大学报道了稀有气体卤化物在紫外波段的强荧光辐射。 之后激励方式： 纯电子束扩展、自持放电、预电离放电 （2）准分子激光器的发展： Lambda Physik公司的紫外预电结构如图1，重复频率为500Hz，平均功率为750w左右 转分子激光器的一次充气寿命进展： 采用低温循环净化技术去除卤化物气体产生的HF等杂质分子，采取卤素气体注入技术补充放电过程中的损耗，充气寿命增加。 （3）发展趋势——高能量、高功率、高重复率（高平均功率） 光刻应用中